![لایه نشانی تبخیر حرارتی روش مقاومت الکتریکی](/documents/8770303/0/MEMSEQ1.jpg/747c1e03-e55c-4fe3-e2fc-d457465fbef0?t=1686149567082&download=true)
لایه نشانی تبخیر حرارتی روش مقاومت الکتریکی
![لایه نشانی تبخیر حرارتی روش مقاومت الکتریکی](/documents/8770303/0/Clomega404.png.png/cb68762b-ec4d-266c-7ae1-e570571a9368?t=1695233591346&download=true)
لایه نشانی تبخیر حرارتی مقاومت الکتریکی (Thermal Evaporation)
آزمون لایه نشانی تبخیر حرارتی مقاومت الکتریکی
اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
دارای فشارسنج های پیرانی و کاتد سرد
فشار پایه 10 به توان 6- torr
مجهز به پمپ روتاری و توربو
لایهنشانی در گستره نانومتر و آنگستروم
اندازه گیری نرخ و ضخامت لایهنشانی توسط ضخامت سنج کریستالی
این روش جزء روشهای لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition - PVD) محسوب میشود. در این روش ماده مورد نظر برای لایه نشانی در بوته که ممکن است که این بوتهها به شکل قایقک، سبدی و ... از جنس تنگستنی باشند که با عبور یک جریان الکتریکی از این بوتهها و گرم شدن بوته تا نقطه ذوب مادهها، تبخیر ماده را فراهم میکنند و مولکولهای تبخیر شده به سمت زیر لایه حرکت میکنند تا عملیات لایه نشانی انجام شود.