لایه‌نشانی کند و پاش (اسپاترینگ) RF
لایه‌نشانی کند و پاش یا اسپاترینگ RF دانشگاه شریف
آزمون خدمات لایه نشانی کند و پاش یا اسپاترینگ RF
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
برند: یار نیکان صالح مدل OMEGA 403
لایه‌نشانی RF در گستره کاری ضخامت نانومتری و آنگستروم
مجهز به پمپ توربو و فشار نهایی 10 به توان 6- torr
ضخمات سنجی با ضخامت سنج کریستالی
به منظور انجام خدمات لایه نشانی اسپاترینگ (کند و پاش) حالت RF مواد نارسانا و کارآیی در فشارهای پایین در دو نوع واکنشی و غیر واکنشی صورت می‌گیرد. در مجموعه اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری یک دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ قرار گرفته است. محفظه داخل دستگاه توسط گازی مانند آرگون پر می‌شود و در اثر یونیزاسیون گاز داخل محفظه یون‌های مثبت ایجاد میشوند و یون‌ها به سطح هدف برخورد می‌کنند و با انرژی اتم‌ها را از سطح هدف جدا می‌کنند. در این روش بر اساس نوع منبع تغذیه که مستقیم (DC) می‌باشد يک پلاسما گازی (در این مدل گاز آرگون) بين زیرلایه و هدف تشکیل می‌شود که بمباران ماده هدف توسط يون‌های پرانرژی باعث کنده شدن اتم‌ها از سطح ماده هدف و رسوب کردن آن‌ها روی زیرلایه و تشکيل لايه نازک می‌شود. در این روش امکان لایه‌نشانی مواد نیمه‌رسانا و عایق وجود ندارد و تنها امکان این وجود دارد که مواد رسانا را روی سطح لایه‌نشانی کرد.