![زدایش خشک Dry Etching](/documents/8770303/0/MEMSEQ1.jpg/747c1e03-e55c-4fe3-e2fc-d457465fbef0?t=1686149567082&download=true)
زدایش خشک (Reactive Ion Etching)
![لایه برداری با پلاسمای اکسیژن](/documents/8770303/0/Cleanroom-RIE.png.png/acf9785c-5125-b3b2-82aa-c51389b6beb9?t=1703226678718&download=true)
دستگاه زدایش خشک (اچینگ خشک) RIE
آزمون میكرو ماشین كاری در فاز پلاسما زدایش خشک
آزمایشگاه: اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
برند: یارنیکان صالح
فشار پایه 10 به توان 3- torr
مجهز به پمپ روتاری و Roots
مجهز به گازهای SF6, هیدروژن-آرگون، آرگون، اکسیژن
زدایش خشک و میکرو ماشین کاری
در مجموعه اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری یک دستگاه RIE به منظور زدایش خشک (Dry Etching) که از روشهای زدایش پلاسما میباشد قرار گرفته است و میتوان خدمات میکرو ماشین کاری را با استفاده از گازهای واکنش دهنده انجام داد که توسط یک منبع RF موج مغناطیسی فرکانس رادیویی مولکولهای گاز یونیزه میشوند و با ویفر مورد نظر واکنش داده و باعث ایجاد فرآیند زدایش عمودی خواهند شد چون یونهای پرانرژی پلاسما به صورت عمودی به سطح ویفر برخورد میکنند و باعث پدیده زدایش میشوند.