لایه برداری با پلاسمای اکسیژن (پلاسمای تحت خلاء و عملیات سطحی با پلاسما)

در مجموعه اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری یک دستگاه لایه برداری با پلاسمای اکسیژن قرار گرفته است که می‌توان چند عملیات را با این دستگاه انجام داد: با ایجاد ذرات واکنش‌پذیر روی سطح و جدا شدن اتم‌ها توسط یونیزه شدن گاز پلاسما می‌توان سطوح را فعال کرد که امکان اصلاح زاویه تماس، آب دوستی، آب گریزی، bonding و ... را فراهم نمود. همچنین آب دوست کردن سطوح با اعمال پلاسما فراهم است که با زاویه تماس معیار 90 درجه که بیشتر از 90 درجه بیانگر آب گریزی و کمتر از 90 درجه بیانگر آب دوستی می‌باشد سنجش را انجام داد. همچنین عملیات تمیزکاری سطح به منظور تمیزکاری سطوح فلز، برد، چسبندگی شیشه، PDMS، اکسیدها و ... امکان پذیر می‌باشد.