میکرو الکترومکانیک MEMS
فناوری ممز (MEMS) و میکرو الکترومکانیک
اتاق تمیز MEMS
سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی مجموعه‌ای از بخش‌های مکانیکی و الکترونیکی که بر روی لایه سیلیکونی در حدود میکرونی که مطابق استاندارد تراشه‌های الکترونیکی است می‌باشد. از مزیت‌های این فناوری کاهش حجم، ابعاد قطعات و هزینه‌هادر صنعت است که صنایع هوافضا، شیمی، خودروسازی، بیوتکنولوژی، الکترونیک و ... می‌توان به ساخت سنسورها، فشارسنج‌ها، چیپ‌های زیستی و Bio-MEMS اشاره نمود که صنعت نظامی و تجاری را تحت پوشش خود قرار می‌دهد. سنسورهای ساخته توسط این روش از پایداری و توان مصرفی پایینی در مقیاس کوچک دارند.
مرکز ساخت قطعات MEMS شریف:
این مرکز از چهار بخش تشکیل شده است که به ترتیب برابر است با: 1- بخش پلیمرهای سیلیکونی، 2- بخش لایه نشانی و زدایش خشک 3- بخش زدایش شیمیایی 4- بخش لیتوگرافی که 3 بخش اول در کلاس 10000 و بخش لیتوگرافی در کلاس 1000 می‌باشند.
- در بخش پلیمرهای سیلیکونی تجهیزات کوره، هود شیمیایی، ترازو قرار گرفته است.
- در بخش لایه نشانی و زدایش خشک دستگاه‌های لایه نشانی اسپاترینگ RF/DC، لایه نشانی Ebeam و تبخیر حرارتی، لیزر فایبر، زدایش یون غیرفعال و پلاسما اکسیژن قرار گرفته است.
- در بخش زدایش شیمیایی 3 هود اسید، باز و حلال به همراه مواد شیمیایی به منظور زدایش تر قرار گرفته است.
- در بخش لیتوگرافی یک دستگاه ماسک الاینر، میکروسکوپ متالوژی و بیولوژی، هود wet bench، اسپین کوتر و حمام آلتراسونیک قرار گرفته است.