ماسک الاینر - لیتوگرافی

ابزار ماسک الاینر Mask Aligner یکی از روش‌های انتقال طرح و الگو از ماسک به سطح زیر لایه که در ساخت ادوات میکرو و نانومتری و میکروفلوئیدیک استفاده می‌شود می‌باشد که قابلیت حرکت نمونه‌ها با دقت نانومتری را دارند و در اتاق تمیز دانشگاه صنعتی شریف یک دستگاه ماسک الاینر نیمه اتوماتیک که فرآیند تطبیق نمونه و ماسک و نوردهی را به صورت اتوماتیک انجام می‌دهد قرار گرفته است. با بهره‌گیری از میکروسکوپ دیجیتال دقیق و متصل به سیستم کامپیوتری امکان تطبیق ویفر و ماسک وجود دارد.