لایه نشانی تبخیر حرارتی روش مقاومت الکتریکی
لایه نشانی تبخیر حرارتی مقاومت الکتریکی (Thermal Evaporation)
آزمون لایه نشانی تبخیر حرارتی مقاومت الکتریکی
اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
دارای فشارسنج های پیرانی و کاتد سرد
فشار پایه 10 به توان 6- torr
مجهز به پمپ روتاری و توربو
لایه‌نشانی در گستره نانومتر و آنگستروم
اندازه گیری نرخ و ضخامت لایه‌نشانی توسط ضخامت سنج کریستالی
این روش جزء روش‌های لایه نشانی فیزیکی بخار (Physical Vapor Deposition - PVD) محسوب می‌شود. در این روش ماده مورد نظر برای لایه نشانی در بوته که ممکن است که این بوته‌ها به شکل قایقک، سبدی و ... از جنس تنگستنی باشند که با عبور یک جریان الکتریکی از این بوته‌ها و گرم شدن بوته تا نقطه ذوب ماده‌ها، تبخیر ماده را فراهم می‌کنند و مولکول‌های تبخیر شده به سمت زیر لایه حرکت می‌کنند تا عملیات لایه نشانی انجام شود.