لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی PVD
لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی (Electron Beam)
آزمون خدمات لایه نشانی تبخیری با باریکه الکترونی PVD
اتاق تمیز ساخت قطعات میکرو و نانومتری
وضعیت دستگاه: فعال و آماده خدمت
دارای فشارسنج های پیرانی و کاتد سرد
فشار پایه 10 به توان 6- torr
مجهز به پمپ روتاری و توربو
لایه‌نشانی در گستره نانومتر و آنگستروم
اندازه گیری نرخ و ضخامت لایه‌نشانی توسط کریستال
لایه‌نشانی فیزیکی بخار PVD یکی از روش‌های لایه‌نشانی است که روش تبخیر باریکه الکترونی (Electron Beam Evaporation) جز لایه‌نشانی PVD محسوب می‌شود. با وجود یک پرتو الکترونی گسیل شده از یک فیلامان تنگستنی، حرارتی به ماده مورد نظر به منظور لایه نشانی مواد با نقطه ذوب بالا بر روی زیر لایه اعمال می‌شود که باعث می‌شود ماده به فاز بخار برود و بخار زیادی از ماده آزاد می‌شود و به سمت زیر لایه حرکت می‌کنند تا فرآیند لایه نشانی انجام شود و پوشش‌های متراکم با قابلیت چسبندگی مناسب و بالا از مزیت‌های این روش است.